|
Репозиторий БГУИР
Google Scholar
Читаемые дисциплины
I ступень:
- Технология изготовления интегральных микросхем;
- Основы твердотельной электроники;
- Методы исследования твердотельных структур;
- Методы исследования микро- и наносистем.
II ступень:
- Плазменные методы формирования наноструктур;
- Методы исследования микро- и наноструктур
Область профессиональных интересов/исследований
Технология модификации поверхности и формирования микро- и наноразмерных структур с применением инновационных методов обработки в плазме и потоках ионов, а также технологических устройств с разрядом в скрещенных электрическом и магнитном полях, с ВЧ разрядом для генерации индуктивно связанной плазмы, с диэлектрическим барьерным разрядом при атмосферном давлении.
Образование
Высшее
1991-1995 Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР)
1995-1998 гг. Аспирантура БГУИР. Закончил ее с представлением.
С 2020 года Докторантура БГУИР.
Стажировки и научное сотрудничество
на постоянной основе (1999 - 2020 годы) университет г. Вупперталя (Германия), Московский инженерно-физический институт (г. Москва, Россия).
Повышение квалификации
с 29.01.2018 по 02.02.2018 прошел повышение квалификации в ГУО «Республиканский институт высшей школы» по программе «Система образования Республики Беларусь в рамках европейского пространства высшего образования», свидетельство №2899259, с 05.11.2018 - 03.12.2019 прошел переподготовку по тематике «Преподаватель со знанием английского языка» (Диплом № 0184332)
Трудовая деятельность
1991-1995 гг. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. Квалификация радиоинженер-конструктор-технолог.
1995-1998 гг. Аспирантура БГУИР. Закончил ее с представлением.
1998-2000 гг Младший научный сотрудник БГУИР
2000-2007 гг. Научный сотрудник в НИЧ БГУИР.
2006 г. Защита диссертации на соискание степени кандидата технических наук по теме «Сильноточные источники ионов низких энергий для
модификации и синтеза тонкопленочных структур».
2007 г. Доцент кафедры «Микро- и наноэлектроника» БГУИР
по настоящее
время
2011-2014 гг. Начальник отдела технологических разрядных систем ООО «Изовак» (по совместительству).
С 2020 года Докторантура БГУИР.
Учебно-методические публикации
1. Котов Д. А. Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов. - Мн. : БГУИР, 2011. - 44 с.
2. Котов, Д. А. Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, А. Г. Черных. - Мн. : БГУИР, 2010. - 48 с. : ил.
3. Б.С. Колосницын, Д.А. Котов Расчет параметров элементов интегральных микросхем. Учебно-методическое пособие. Мн., БГУИР, 2017г. 68с.
4. Ю.А. Родионов, Д.А. Котов, В.И. Плебанович, Н.С. Ковальчук. Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации. Учебно-методическое пособие Мн., БГУИР, 2017. - 72с.
Публикации
1) Влияние распределения магнитного поля на разрядные параметры источника индукционного разряда / А.А. Ясюнас, Д.А. Котов // «Весцi Нацыянальнай академii навук Беларусi». В 5 ч. Ч.3. Серия физико-математических наук, серия физико-технических наук. Минск 2015г. С. 49-54.
2) Influence of the Surface Layer on the Electrochemical Deposition of Metals and Semiconductors into Mesoporous Silicon / E. B. Chubenko, S.V. Redko, A.I. Sherstnyov, V.A. Petrovich, V. P. Bondarenko, D.A. Kotov // Microcrystalline, Nanocrystalline, Porous, And Composite Semiconductors 2016 Vol. 50, No. 3, Pp. 377-381
3) ICP source antenna system / A. A. Yasunas, D.A. Kotov // Известия вузов. Физика - 2016. - Т. 59, № 93. Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск) - С. 219-224.
4) Плазмохимическое осаждение пленок оксида и нитрида кремния для создания просветляющих покрытий // А.А. Ясюнас, А.С. Мысливец, Е.А. Хохлов, Д.А. Котов // «Весцi Нацыянальнай академii навук Беларусi». В 5 ч. Ч.4. Серия физико-математических наук, серия физико-технических наук Наук- Минск: Беларуская навука, 2016. - с. 85-88.
5) Устройство низкоинтенсивного воздействия ИК излучением на организм человека с целью восстановления его функционального состояния // А.Н. Осипов, М.Х.-М. Тхостов, М.М. Меженная, Н.И. Стетюкевич, В.Ф. Шевцов, В.А. Кульчицкий, Д.А. Котов, Н.С.Давыдов, В.Ю. Драпеза // Доклады БГУИР №7 (101) 2016 с 70-75.
6) Формирование стохастического рельефа поверхности с супергидрофобными свойствами методом ПХТ / А.А. Ясюнас, В.А. Савич, Д.А. Котов // «Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі» В 5 ч. Ч.4. Серия физико-математических наук, серия физико-технических наук Наук- Минск: Беларуская навука, 2016. - С. 88-91.
7) Получение методом механохимии ультрадисперсных порошков кремния и исследование их физико-химических свойств / А.А. Ковалевский, А.С. Строгова, Д.А. Котов, А.А. Шевченок, С.В. Гранько // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - № 11.- С 667-677.
8) Физико-химические свойства наноструктурированных наноразмерных порошков кремния / К.А. Корзун, А.А. Ковалевский, О.М. Комар, Д.А. Котов // Известия НАН РБ, серия технические науки. - 2018, Т.63, №1, С. 14-19.
9) Lateral force microscopy as a method of properties control after low-temperature plasma treatment / U.V. Zaporojchenko, V.A. Lapitskaya, D.A. Kotov, T.A. Kuznetsova, S.A. Chizhik, K.A. Sudzilouskaya, S.A. Nikitiuk // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 2018. - 443/ 6 page . IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering 443 (2018) 012019 doi:10.1088/1757-899X/443/1/012019.
10) Cold Atmospheric Plasma Treatment of Medical Devices / Krivenchuk D., Kotov D., Osipov A., Patseev S. , Aksiuchyts A, Ponomarenko G. and Kulchitsky V. // Journal Scientific and Technical Research, Vol22 Iss3, pp 16745-16749. DOI: 10.26717/ BJSTR.2019.22.003766
11) Managing the surface properties of materials of display technology by means of treatment in atmospheric discharge plasma / U.V.Zaporojchenko, A.V. Aksyuchits, D.A. Kotov, A.N. Osipov, S.V. Paceev // Доклады БГУИР. - 2019. - Т .7, № 125. - С. 107 - 113.
12) Infrared Bioengineering Feedback Cabin for Recovering Functional Reserves of a Human Organism / A. N. Osipov, M.Kh.-M.Tkhostov, M.M.Mezhennaya, N.I. Stetyukevich, V.F. Shevtsov, V.A. Kul’chitskii, V.Yu. Drapeza, M.V. Davydov // Journal of Engineering Physics and Thermophysics, Vol. 93, No. 1, January, 2020. P. 54-59.
13) Влияние воздействия низкотемпературной плазмы атмосферного барьерного разряда на структуру и свойства мембран эритроцитов и тромбоцитов / Г.Б. Мельникова, В.А. Лапицкая, Д.А. Котов, Т.А. Кузнецова, Т.Н. Толстая, С.А. Чижик // Вести национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук, Том 65, №1, 2020, Стр. 72-82.
14) Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС: учеб.-метод. пособие / Д.А. Котов, Ю.А. Родионов, А.А. Ясюнас, Н.С. Ковальчук. - Минск : БГУИР, 2020. - 68 с. ил.
Выступление с докладами на международных конференциях и симпозиумах: 69
Заслуги, награды, поощрения
Победитель в конкурсе для назначения стипендии Президента Республики Беларусь талантливым молодым ученым в 2008 году.
|
