Белорусский Государственный Университет  Информатики и Радиоэлектроники
БГУИР
BSUIR

2 учебная неделя

Соколов Сергей Иванович

Диссертация 

  • «Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем»

Искомая ученая степень

  • кандидат технических наук

Специальность 

  • 05.27.06 – технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Совет по защите диссертаций

Статус

  • 06.09.2023 по результатам экспертизы в Президиуме ВАК утверждено решение Совета о присуждении ученой степени

Дата защиты

  • 18.05.2023

Автореферат просмотреть

Научные руководители

  • доктор технических наук, профессор, член-корреспондент НАН Беларуси Емельянов Виктор Андреевич отзыв
  • кандидат технических наук, доцент Шершнев Евгений Борисович отзыв

Официальные оппоненты

  • Толстопятов Евгений Максимович, д.т.н., доцент, главный научный сотрудник отдела «Физика и механика композиционных систем»государственного научного учреждения «Институт механики металлополимерных систем имени В.А. Белого Национальной академии наук Беларуси» отзыв;
  • Голубев Валерий Сергеевич, к.ф.-м.н, заведующий лабораторией лазерной обработки материалов государственного научного учреждения «Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси» отзыв

Оппонирующая организация Белорусский национальный технический университет отзыв

Отзывы на автореферат

Заключение совета по защите диссертаций просмотреть